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簡要描述:在1立方英尺可以精確到0.1微米可用于任何惰性氣體 輕松設(shè)置 安裝簡單 前置流計 直觀的用戶控制 安靜的操作 快速清除和清理 VCR接頭內(nèi)部和外部 不銹鋼結(jié)構(gòu)
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對象: 工藝鑒定
半導(dǎo)體制程監(jiān)控
平板過程監(jiān)控
過程趨勢分析
粒徑范圍:0.1微米或更大
輸出壓力:接近大氣壓
尺寸:5.61" (w) x 7.57" (h) x 10.32" (d) [14.22 x 19.30 x 26.21 cm]
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