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激光震蕩衰減水分儀給檢測帶來便利

更新時間:2022-03-21      點擊次數(shù):1603
   激光震蕩衰減水分儀在許多領(lǐng)域都非常重要,例如光譜學(xué),化學(xué)分析、醫(yī)療診斷、環(huán)境監(jiān)測和工業(yè)生產(chǎn)中的污染物控制等。在過去二十年間,隨著半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的進步,半導(dǎo)體生產(chǎn)所用的氣體中允許的不純度減少了四個數(shù)量級。
  
  該儀器在性能上做了重大改革,摒棄了傳統(tǒng)儀器操作費時費力、人工因素影響大等缺點,適用于各個行業(yè)以及實驗室的需求,在使用中更便利。一般來說,水分儀測量一般樣品只需幾分鐘,檢測結(jié)果準確,且檢測效率遠遠高于烘箱法,避免了因為人工因素對測量結(jié)果產(chǎn)生的誤差。除此之外,水分儀還具有測量水分范圍寬、精度高、顯示清晰、測量迅速、性能穩(wěn)定、指標可靠等優(yōu)點,可隨身攜帶在現(xiàn)場快速檢測。
  
  超高純度氣體對于半導(dǎo)體集成電路中所要求得越來越小的幾何特點具有極其重要的作用。特別是已經(jīng)證實了的,氣體中只要有十億分之幾(ppb)的水分就可在硅片上導(dǎo)致瑕疵。所以半導(dǎo)體制造商要求氣體供應(yīng)商清楚地保證水分不能大于1-10ppb,今后會要求更低的水平。
  
  半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)對高純度氣體的需求對氣體供應(yīng)商和分析儀器制造商提出了巨大挑戰(zhàn)。微量水分的監(jiān)測不僅用于大用量氣體,例如氮氣、氧氣、氫氣、氦氣和氬氣,而且還要監(jiān)測特殊氣體,例如HCl,HBr,BF3,AsH3,CF4和許多其他氣體。這些氣體往往是高腐蝕性、易反應(yīng)和有毒的。
  
  激光震蕩衰減水分儀是少數(shù)能達到上述要求的一種基于激光的光譜技術(shù)。基于光腔衰蕩光譜(CRDS)原理的儀器,MTO-1000-H2O,可以準確、快速地檢測普通氣體中200ppt的水分,此儀器還可用于腐蝕性和有毒氣體。
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